MKY-KDY-1型四探針電阻率測(cè)試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn)。
儀器特點(diǎn)如下:
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、可測(cè)電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可測(cè)方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬(wàn)分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測(cè)量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10萬(wàn)次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。
6、可加配電腦,使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、可配KDDJ-2電動(dòng)測(cè)試架,自動(dòng)上下運(yùn)行,使測(cè)量更方便快捷。