MKY-KDY-4 四探針電阻率測試儀

MKY-KDY-4型四探針電阻率測試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn)：

1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ

基本誤差±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度)

2、可測電阻率范圍：10^—3 —1×10³Ω·cm。

可測方塊電阻范圍：10^—2 —1×10⁴Ω/□。

3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。

4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測量精度＜3%。

電流量程分四檔：100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。

MKY-KDY-4 四探針電阻率測試儀

MKY-KDY-4型四探針電阻率測試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn)：

1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ

基本誤差±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度)

2、可測電阻率范圍：10^—3 —1×10³Ω·cm。

可測方塊電阻范圍：10^—2 —1×10⁴Ω/□。

3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。

4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測量精度＜3%。

電流量程分四檔：100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。